製造・検査装置
TEXUS社製全自動エポキシボンダ[EBD4350S]
製造・検査装置
TEXUS社製全自動エポキシボンダ[EBD4350S]
全自動エポキシ
EBD4350S
EBD4350S
[TEXUS社]
全自動フレキシブル
エポキシダイボンダ
アイテム | 仕様 |
---|---|
ボンディング方式 | エポキシ方式、Option: DAF(Die Attach Film) |
チップサイズ | Min. □0.2mm-Max.□5.0mm |
ボンディング精度 | XY = ±μm(1.5mils)@3sigma |
ボンディング荷重 | 0.3N-1.2N(5N) |
対応ワーク | 短冊状プラスチックリードフレーム、キャリアテープ |
リードフレーム幅、長さ | 幅: -75mm 長さ: 100-280mm |
ウェーハサイズ | 最大φ8”まで対応可能 |
マシンサイクルタイム | 0.25/chip (ワーク幅、チップサイズ等の条件により変わる) |
搬送方法 | グリッパ搬送方式 |
ローダ | 吸着スタッカまたは、マガジンスタッカ、オプション:ダブルローダ |
アンローダ | マガジンスタッカ |
外形寸法 | 吸着スタッカ ローダ/マルチマガジン アンローダ:1,300(W)×1,135(D)×1,620(H)mm マルチマガジン ローダ/マルチマガジン アンローダ:1,600(W)×1,135(D)×1,620(H)mm |
質量 | 約 1,200kg |
必要設備 | 電源:AC200-240V±5%、50/60Hz Max.25A(5kVA) 主電源:10A、ヒータ電源:15A 真空源:-73.3kPa以上 N2ガス:0.4Mpa以上 |
オプション |
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