製造・検査装置

テムテック研究所製圧力センサー

製造・検査装置

テムテック研究所製圧力センサー

テムテック研究所は1982年設立以来、圧力センサーの開発を通じて技術を蓄積し、国内外の半導体メーカーや装置メーカー等に採用されています。製造工程に用いられる特殊ガスや純水・薬液の圧力センシングに対応可能な製品を取り揃えているため、お客様のニーズに対し幅広くご提案致します。

メーカー情報
tem-tech
メーカーサイト
テムテック研究所製圧力センサー

特殊ガス供給装置用圧力センサー

高耐食性圧力センサー
「HYZシリーズ」
直線性の補正回路搭載、接ガス部にハステロイを使用している高耐久性のセンサー。
CC(Cylinder Cabinet)やDSGS(Bulk Specialty Gas System)に最適なセンサー。
カタログ 686KB
絶対圧センサー
「SE1000シリーズ」
真空圧力の監視に最適なセンサー。カタログ 590KB

製造装置・ガスパネル用圧力センサー

IGS用表示器付多機能
圧力センサー
「HYPF-6700/-6801」
設置方向を選ばない表示面の回転機構を搭載したセンサー。 カタログ 705KB
高耐食性圧力センサー
「HYZFシリーズ」
W・Cシール対応。接ガス部にハステロイを使用している高耐久性のセンサー。 カタログ 754KB

防爆対応圧力センサー

本質安全防爆構造
圧力センサー
「HYPS-B」シリーズ」
可燃性ガスを用いる環境に最適なセンサー。
※(社)産業安全技術協会 本質安全防爆構造検定品 第 TC19231号
KOSHA(韓国産業安全保健公団): 11-AV4BO-0100
NEPSI(中国防爆認証機関): GYJ13.1041X
カタログ 626KB

CMPスラリー用、薬液用圧力センサー

粘度性が高い
CMPスラリー用
圧力センサー「SE4000」
フロースルー構造によりデッドスペースが無く、CMPスラリーの硬化や気泡発生等のトラブルを防止。負圧計測が可能。 カタログ 697KB
薬液の圧力計測に
最適な圧力センサー
「SE3000シリーズ」
独自のバルーン構造によりコンタミ、イオン、負圧測定の問題を解決 カタログ 744KB

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