製造・検査装置
テムテック研究所製圧力センサー
製造・検査装置
テムテック研究所製圧力センサー
テムテック研究所は1982年設立以来、圧力センサーの開発を通じて技術を蓄積し、国内外の半導体メーカーや装置メーカー等に採用されています。製造工程に用いられる特殊ガスや純水・薬液の圧力センシングに対応可能な製品を取り揃えているため、お客様のニーズに対し幅広くご提案致します。
メーカー情報
メーカーサイト |
特殊ガス供給装置用圧力センサー
高耐食性圧力センサー 「HYZシリーズ」 |
直線性の補正回路搭載、接ガス部にハステロイを使用している高耐久性のセンサー。
CC(Cylinder Cabinet)やDSGS(Bulk Specialty Gas System)に最適なセンサー。 |
カタログ 686KB |
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絶対圧センサー 「SE1000シリーズ」 |
真空圧力の監視に最適なセンサー。 | カタログ 590KB |
製造装置・ガスパネル用圧力センサー
IGS用表示器付多機能 圧力センサー 「HYPF-6700/-6801」 |
設置方向を選ばない表示面の回転機構を搭載したセンサー。 | カタログ 705KB |
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高耐食性圧力センサー 「HYZFシリーズ」 |
W・Cシール対応。接ガス部にハステロイを使用している高耐久性のセンサー。 | カタログ 754KB |
防爆対応圧力センサー
本質安全防爆構造 圧力センサー 「HYPS-B」シリーズ」 |
可燃性ガスを用いる環境に最適なセンサー。 ※(社)産業安全技術協会 本質安全防爆構造検定品 第 TC19231号 KOSHA(韓国産業安全保健公団): 11-AV4BO-0100 NEPSI(中国防爆認証機関): GYJ13.1041X |
カタログ 626KB |
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CMPスラリー用、薬液用圧力センサー
粘度性が高い CMPスラリー用 圧力センサー「SE4000」 |
フロースルー構造によりデッドスペースが無く、CMPスラリーの硬化や気泡発生等のトラブルを防止。負圧計測が可能。 | カタログ 697KB |
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薬液の圧力計測に 最適な圧力センサー 「SE3000シリーズ」 |
独自のバルーン構造によりコンタミ、イオン、負圧測定の問題を解決 | カタログ 744KB |
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