プロセスガス用

• 世界で唯一、ステンレス鋼短繊維を用いたメタルメンブレンフィルターです。
• 圧力損失が低く、高除粒子性能を実現。
• 100SLM以下の流量に適しており、各種プロセスガスにご使用できます。

バルクガス用

• フィルターメディア形状をプリーツ化し、高流量でも低い圧力損失を実現。
• オールメタルのため高温ベーキングが可能。
• 3000Nm³/hまでの大流量に対応。

機器保護用

• MFC、バルブ、レギュレーターなどの機器保護用フィルター。
• 使用条件に合わせて、低圧タイプ、高圧タイプから選定可能。
• 既存配管でも取付け可能。

IGSパネル用

• 集積型ガスパネル用フィルター、1.125W-Seal、1.125C-Seal、1.5W-Sealに対応。
• プリーツ型メディアの採用により、小型化を実現。
• メカニカルシールの採用により、メディア部に溶接レス構造。

ディフューザー用

• プリーツ型メディアの採用により、高速ベントが可能。
• パーティクル巻上げを防止し製品歩留まりに貢献。
• 設置スペースに合わせた設計が可能。