半導体ガスフィルター NASclean®

NASclean®は、ミクロンオーダーのステンレス鋼短繊維(SUS316L)を焼結した薄層のメタルメンブレンフィルターです。半導体・フラットパネル ディスプレイ、太陽電池パネルなどの生産過程に用いられるガスの濾過に、フィルター濾材(ステンレス鋼短繊維)から最終製品まで一貫生産して貢献いたします。

メーカー情報

日本精線株式会社

メーカーサイト:

http://www.n-seisen.co.jp/index.html別ウィンドウで開きます。

プロセスガス用

  • 世界で唯一、ステンレス鋼短繊維を用いたメタルメンブレンフィルターです。
  • 圧力損失が低く、高除粒子性能を実現。
  • 100SLM以下の流量に適しており、各種プロセスガスにご使用できます。

バルクガス用

  • フィルターメディア形状をプリーツ化し、高流量でも低い圧力損失を実現。
  • オールメタルのため高温ベーキングが可能。
  • 3000Nm³/hまでの大流量に対応。

機器保護用

  • MFC、バルブ、レギュレーターなどの機器保護用フィルター。
  • 使用条件に合わせて、低圧タイプ、高圧タイプから選定可能。
  • 既存配管でも取付け可能。

IGSパネル用

  • 集積型ガスパネル用フィルター、1.125W-Seal、1.125C-Seal、1.5W-Sealに対応。
  • プリーツ型メディアの採用により、小型化を実現。
  • メカニカルシールの採用により、メディア部に溶接レス構造。

ディフューザー用

  • プリーツ型メディアの採用により、高速ベントが可能。
  • パーティクル巻上げを防止し製品歩留まりに貢献。
  • 設置スペースに合わせた設計が可能。