TEXUS社製全自動共晶ダイボンダ[DBD4200R]


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全自動熱圧着
DBD4200

[TEXUS社]
超高速マシンサイクル
0.15秒

アイテム仕様
マシンサイクルタイム 0.15秒/チップ
ボンディング方式 共晶方式
対応ワーク フープ状リードフレーム(幅20~60mm)
ヘッド稼動範囲 x=4mm y=56mm max.
チップサイズ □0.25~□0.80mm
ウェーハ供給 6'', 8''ウェーハ対応
ボンディング荷重 19.6~122cN(20~120g) ディジタル設定
ボンディングステージ温度 室温~500℃
ボンディング精度 X, Y: ±50μm θ: ±3℃
チップ認識 多値化
ワーク認識 多値化
ボンディングツール フラット(フェイス)タイプ
生産管理データ 生産高、良品チップ数、NGチップ数、エラー停止時間
稼動時間、ツール寿命、ミスチップ回数、ツール寿命
光学系 CCDカメラ
本体外形寸法 1,100(W)×1,100(D)×1,880(H)mm
重量 約750kg
必要設備 電源: AC200V 50/60Hz
真空源: -0.07MPa以下
N2ガス: 0.1Mpa以上
エアー源: 0.4Mpa
オプション
  • ロータリヘッド(±180°、角度ボンド、θ補正)機能
  • エポキシボンディング機能
  • マップ機能
  • SECS, GEM対応機能
  • マニュアルダイシアーステーション
  • クリップ検出機能
  • パンチ・刻印機能